真空檢漏方法有如下幾種：
1、氦質(zhì)譜檢漏
該技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。
2、真空封泥檢測法
將真空泥逐個(gè)封住可疑漏點(diǎn)，注意觀察真空度的變化，假如貼上真空封泥真空度提升很快，取掉有明顯下降，說明這是一個(gè)漏點(diǎn)。這種方法在實(shí)際應(yīng)用中，采用的比較少。
3、真空計(jì)檢漏法
選用適當(dāng)?shù)臍怏w或液體做示漏物質(zhì)，這些真空計(jì)便成了探測器，一般鍍膜機(jī)上都有真空計(jì)，使用起來很方便，也是常用到的一種檢漏方法。
4、高頻火花檢漏
這種方法僅適用于玻璃真空系統(tǒng)。先將系統(tǒng)抽成真空，高頻火花檢漏儀的火花端沿著玻璃表面移動，火花集中成束形成亮點(diǎn)處即是漏孔位置。
選擇檢漏方法的原則：
1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個(gè)單個(gè)漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個(gè)數(shù)量級。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W；
2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行、經(jīng)濟(jì)實(shí)用。 |